精密cnc加工系统与一般磨床不同，特别是工件不转、磨削运动和圆周走刀运动由磨头的公转和自转完成，上下走刀运动由磨头套筒上下冲程运动完成。磨头是执行坐标磨床主运动——磨削运动的部件。磨头按驱动方式有高频电动磨头和空气透平磨头两种。
    精密CNC加工目前就其质来说是要实现以现有普通精密加工手段还达不到的高精度加工，就其量来说是要加工出亚微米乃至毫微米级的外形与尺寸赖皮并获得纳米级的表面粗糙度，但究竟多少精度值才算得上超精密加工一段要视零件大小、复杂程度以及是否轻易变形等因素而定。