光化学加工工艺，也叫光蚀刻，对于生产具有复杂几何结构或具有很多孔的零件效率非常高， 而如果采用模压、冲孔、激光或线切割等工艺加工这些零件，则可能产生毛刺及机械或热变形。 
  精密零件加工的化学加工就是将带有补偿因子、专门用于蚀刻工艺的工具文件输出到分辨率很高的光电绘图仪上，并产生相互匹配的前后图片整理器。具有复杂几何结构的工件,例如，形状奇异，带有很多孔，采用光化学加工通常要比模压、冲孔、激光切割或线切割加工更经济实惠。 
  光蚀刻适合大量金属加工工艺，其中包括模压、模具冲裁、冲孔、激光和水射流切割及线切割等。其特殊的优点包括可以加工非常薄的材料，厚度最小可达0.0005英寸；可以加工出复杂的几何结构，包括细网、网格和格栅等；可以实现精确至金属厚度±10%的尺寸公差；可以快速小批量或大批量加工产品，且成本低廉。此外，光蚀刻还不会在金属中产生任何热应力或机械变形。 
   精密零件加工的化学加工工艺采用价廉且快速形成的工具，该工具可适应一系列零件结构或单个结构的多次重复，以加速开发过程。光蚀刻过的零件可以用厚度为0.001～0.050英寸的金属片在短短2、3天内加工好。零件尺寸范围很广，最小可以为带有0.004英寸结构、大小为0.100英寸的零件，最大为24×60英寸的零件。 

                                               公差和特征尺寸 
  光蚀刻产生的特征其位置公差一般在图纸标称0.001英寸内。蚀刻的尺寸公差为材料厚度和板材尺寸的函数。一般规律是，公差越大，板材尺寸就越大，零件成本就越低。 
  可以实现的最小公差范围为：对于小于0.010英寸的厚度，为材料厚度的±10%。对于厚度为0.010～0.020英寸的零件，公差范围为±0.0015～±0.0025英寸。对于0.021～0.035英寸的厚度，最经济的公差为±0.005英寸。对于超出0.035英寸的厚度，尺寸公差带将近似等于材料厚度的±20%。 
  最小的孔或微型槽的尺寸，对于厚度在0.02英寸以内的材料，必须至少为材料厚度的110% ；对于厚度超出0.020英寸的金属，为材料厚度的120%。孔或槽之间最薄的区域必须至少等于材料厚度。内、外侧半径的最小尺寸等于材料厚度。