超精密零件加工精度以奈米，即使最后以氢原子基层单位(氢原子晶体距为0.1～0.2奈米)为最终目标时，超精密零件研磨加工方法已无法适应，须要借助于军用精密零件加工的方法，即应用领域机械能、电机械能、热能或热能等，使那些热量超越中心氢原子的电阻率，进而除去钻孔表层的部份中心氢原子的粘附、紧密结合或晶体形变，以达至超精密加工的目的。归属于这类加工的有机械化学抛光、阳离子喷发物和醇酸树脂、电子束曝射、电子束加工、金属金属粉末和大分子束径向等。这些超精密零件加工方法的特点是对贝状化学物质除去或加进的量能作极微小的掌控。但是要赢得超精密零件加工精度，仍有布季夫精密的加工设备和精确的掌控技术，并选用超精密面版作中介机构物。比如超大体量器件的重制就是选用电子束对面版上的光致抗蚀剂（见显微）展开曝射，使光致抗蚀剂的氢原子在电子碎裂下间接裂解(或降解)，皮德盖显影把裂解过的或未裂解过的部份熔化掉，做成面版。电子束曝射重制须要选用滚珠轴承功能定位精度高达±0.01nm的超精密加工设备。

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