随着机械加工技术的迅速发展，零件加工精度也从宏观上的判断走向了微观的方向，使原本难以实现的加工需求也随之发生了变化。因此精密加工是相对的，两者的边界并不是一成不变的。本文以超精密零件机加工为切入点，对其精度的影响因素进行了论述和分析，以期对有关机床的工作有所帮助。

　　20世纪六十年代，随着核电、集成电路、航空航天等行业的迅速发展，对机床的精度要求也越来越高。与精密加工相比，超精密制造技术在加工精度上有了质的飞跃。80年代，其尺寸加工精度可达1x10~8 m，表面处理精度可达1x10~9 m。当然，超精密的工艺要求非常苛刻，其工艺品质受到诸多因素的制约。例如，工件的材料必须均匀、致密、精细，而且必须预先对零件的残余应力进行消除，以确保工件的尺寸，防止机加工后的变形；对于机床来说，导轨的直线和旋转的精度必须达到0.1微米，精密的进给和定位精度必须达到0.01微米；在加工系统上，还必须保证系统误差和随机误差小于0.1微米。

　　对工作环境的影响分析，一个好的工作环境是保证机床加工质量的关键因素，它直接关系到精密加工和超精密零件的加工质量。在超精密工件的实际加工中，空气中的粉尘比磨料的微粒要大，会对机加工表面产生损害，从而影响到磨削的效果，所以在超精密加工之前，必须保证空气的清洁。由于微粒的粒径大于0.5微米，对超精密加工的质量产生了很大的影响，因此，1ft3的颗粒中包含的颗粒直径大于0.5微米，通常被用来确定空气的洁净级别。                        采用超精密加工工艺，其净化级别为100-10000。过滤是最常用的净化方法，人们把它叫做净化室、超净室。一般来说，净化分为两种，一种是整体的，一种是局部的。

　　局部净化是一种经济的方法，它是在局部加工区，如工作台等处进行正压清洁，以阻止外界空气进入，从而实现清洁的目的。工作人员的头发、工作服等都会携带灰尘，因此，在进入洁净室前，必须在洁净室内更换特殊的衣服，并进行风吹，以防止灰尘污染。